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于此描述的实施方式关于增强波导区域。增强波导区域通常包括具有工作周期和折射率的多个光栅。在某些实施方式中，工作周期不同，折射率不同，或工作周期和折射率都不同。于此还描述了用于形成增强波导区域的方法。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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