温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

光学部件具有：包括主面及在主面的背面侧形成的第二面的基板、和在主面及第二面中的至少主面形成的多层膜，基板至少含有Ge而形成，多层膜包含从接近基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜和DLC膜的至少4层层叠而成的膜。由此，能够提供使...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。