光学部件及激光加工机制造技术

光学部件具有：包括主面及在主面的背面侧形成的第二面的基板、和在主面及第二面中的至少主面形成的多层膜，基板至少含有Ge而形成，多层膜包含从接近基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜和DLC膜的至少4层层叠而成的膜。由此，能够提供使耐热性提高、不因热的影响而使光学特性恶化、发挥稳定的光学性能的光学部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学部件及激光加工机
本专利技术涉及在高温环境下也可发挥稳定的光学性能的光学部件及搭载有该光学部件的激光加工机。
技术介绍
以往，例如，在对智能手机、或者以平板PC为代表的电子设备中内储的印刷配线板的开孔加工中，使用激光加工机。就用于激光加工机的激光而言，主要是振荡波长为9～11μm的红外光的CO2激光。CO2激光可进行高输出功率振荡，在树脂中的吸收率高。就开孔加工用的激光加工机而言，将聚光透镜配置于加工区域的上方。因此，由于开孔加工时产生的粉尘、溅射物，有时聚光透镜损伤、劣化。因此，通过在被加工物与聚光透镜之间配置被称为保护窗的光学部件，防止聚光透镜的损伤、劣化。在开孔加工时产生的粉尘及溅射物容易附着于保护窗。另外，就在CO2激光的光路上附着的粉尘及溅射物而言，由于吸收CO2激光而温度上升，因此保护窗成为高温。因此，对于保护窗，要求对于作为红外光的CO2激光的透过性和耐环境性。所谓耐环境性，是指即使由于附着的树脂溅射物或铜溅射物的擦除也在表面不产生损伤的耐磨损性、和即使暴露于高温环境也发挥稳定的光学性能的耐热性。例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学部件，该光学部件具有：/n具备主面及在所述主面的背面侧所形成的第二面的基板；和/n在所述主面及所述第二面中、至少在主面所形成的多层膜，/n所述基板含有Ge而形成，/n所述多层膜包含：从接近所述基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜及DLC膜的至少4层层叠而成的膜。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180125 JP 2018-0103301.一种光学部件，该光学部件具有：
具备主面及在所述主面的背面侧所形成的第二面的基板；和
在所述主面及所述第二面中、至少在主面所形成的多层膜，
所述基板含有Ge而形成，
所述多层膜包含：从接近所述基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜及DLC膜的至少4层层叠而成的膜。


2.根据权利要求1所述的光学部件，其中，
所述氧化物膜包含Y2O3、HfO2和ZrO2中的任一者而形成，
所述氟化物无定形膜包含YF3、YbF3和MgF2中的任一者而形成。


3.根据权利要求2所述的光学部件，其中，
所述氧化物膜的厚度为...

【专利技术属性】
技术研发人员：福永圭佑，增田晓雄，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP