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一种清洗方法，其具备：第1去除工序，在制造添加了n型掺杂剂的单晶硅之后，使得已被赋予脉动的非活性气体流入排气配管中，由此剥离并去除堆积物；及第2去除工序，经由腔室，使得未被赋予脉动的空气流入排气配管中，用空气使在第1去除工序中未完全去除的堆...
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