下载一种1.55微米波长硅基量子点激光器外延材料及制备方法的技术资料

文档序号:25527502

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本发明涉及半导体激光器的技术领域,尤其涉及一种1.55微米波长硅基量子点激光器外延材料及制备方法,其不同之处在于,包括以下步骤:步骤101:在单晶硅衬底上制备条形图形掩膜;步骤102:刻蚀V型槽窗口;步骤103:在所述V型槽窗口区中选区生长...
该专利属于江苏华兴激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华兴激光科技有限公司授权不得商用。

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