下载一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝的技术资料

文档序号:2552686

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本实用新型涉及一种对常规光学狭缝及其它真空狭缝的改进。采用弹性结构解决了运动件由于接触产生的分子过镀和摩擦力大的缺陷,提高了运动精度和灵活性。弹性结构、导向调节套、挡帽、载体拨柱、滑套片采用合适的材料解决了材料放气的问题。采用弹性结构、锥楔...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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