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本发明的一实施例提供一种基板处理装置的供气单元及基板处理装置，供气单元包括：气体分配板，具有第一面及与第一面相对的第二面，并具有贯通所述第一面和所述第二面的第一供气孔；喷头，具有与所述第二面紧贴的第三面及与第三面相对的第四面，并具有第二供气...
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