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一种用于精密运动控制的反演抗积分饱和方法技术
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文档序号:25520271
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一种用于精密运动控制的反演抗积分饱和方法,包括:通过精密运动平台机械台体参考位置和实际位置之间的位置偏差,得到精密运动平台机械台体的控制量;将控制量经过预设饱和环节以及超前饱和环节,判断控制量是否处于即将积分饱和的状态;若控制量处于即将积分...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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