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本发明公开了一种物镜装置。该物镜装置包括：光线传播单元、气体供给单元和控制单元；光线传播单元包括沿光线传播方向依次排列的第一镜组、波前补偿器和第二镜组；第一镜组和/或第二镜组中设置有第一压力感应单元，波前补偿器内设置有第二压力感应单元，第一...
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