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固定式高精度平面扫描干涉仪，由压帽，左右端座，保护筒，筒状压电陶瓷，反射镜，保护盖构成。反射镜为两片反射面相互平行的平面反射镜，两片反射镜的位置通过玻璃管和压电陶瓷固定，并使两反射面高精度平行。本实用新型的优点是精细度高、光谱范围宽，且使用...
该专利属于南开大学所有，仅供学习研究参考，未经过南开大学授权不得商用。

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