【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种固定式高精度平面扫描干涉仪。现有的扫描干涉仪，是利用一筒状压电陶瓷驱动一球面反射镜进行扫描，可得到高精细度且使用方便。但由于受球面反射镜曲率半径的限制不可能获得更大的自由光谱区而限制了其使用范围。为了克服这一缺点，有人曾利用一片状压电陶瓷驱动一平面反射镜进行扫描的方式，制成了平面扫描干涉仪，从而获得了较大的自由光谱区，但这种平面扫描干涉仪的缺点是必须对它的另一个反射镜经常进行调整，同时因片状压电陶瓷在加电压的凹凸运动中易破坏两平面反射镜的平行度故必须随时监视和调整，从而增加了使用的困难。本专利技术的目的旨在提供一种新型的平面扫描干涉仪，使其既能获得更高的精细度，又具有更宽的光谱范围，且使用中不需要再作调整。本专利技术的技术方案是反射镜［6］为两片反射面相互平行的平面反射镜，两片反射镜的位置通过玻璃管［5］和筒状压电陶瓷［4］固定，并使两反射面高精度平行。下面将本专利技术的技术方案结合附图作进一步说明。图一是平面扫描干涉仪组装图。也是本专利技术的实施例。图二是干涉仪组装中检测两平面反射镜平行度的装置示意图。两平面反射镜［6］用优质熔石英或优质光学...
【技术保护点】
固定式高精度平面扫描干涉仪，由压帽［１］左端座［２］，保护筒［３］，筒状压电陶瓷［４］，玻璃管［５］，反射镜［６］，右端座［７］，保护盖［８］构成，其特征在于反射镜［６］为两片平面反射镜，两片反射镜的位置通过玻璃管［５］和筒状压电陶瓷［４］固定，并使两反射面高精度平行。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁树忠，开桂云，张铁群，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：实用新型
国别省市：12[中国|天津]
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