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本实用新型涉及了一种清洗晶圆的装置，包括槽体以及设置于槽体内的喷淋组件、电磁筛与加热管，所述电磁筛设置于喷淋组件的下方，所述加热管固定于槽体内壁上；所述喷淋组件包括喷淋组件本体，所述喷淋组件本体上设置有动力元件、行走部件、旋转载台以及若干喷...
该专利属于福建省福联集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省福联集成电路有限公司授权不得商用。

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