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一个干涉仪包含一个分光镜（ＢＳ）和平行安装在可被线性移动的公共滑动部件上的两个扫描反光镜（Ｍ１，Ｍ２）。干涉仪还包含两个补偿反光镜（Ｍ３，Ｍ４），补偿反光镜被置于分光镜（ＢＳ）和扫描反光镜（Ｍ１，Ｍ２）之间。分光镜（ＢＳ）以及每个补偿反光镜...
该专利属于奥普斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥普斯公司授权不得商用。

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