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本发明涉及一种对紫外一真空紫外干涉光谱仪用数字干涉仪进行辅助装调的方法。在干涉光谱仪所有光学、机械件按设计图纸安装完毕后，将干涉光谱仪与数字干涉仪放在同一平台上，采用数字干涉仪与干涉光谱仪内设光源并用，逐次逼近的方法，使得紫外－真空紫外干涉...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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