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一种应用于晶圆盒自动封装设备中的进出料装置,包括进料平台和出料平台。所述进料平台包括第一放置平台以及限位机构,所述限位机构能够将所述晶圆盒定位于所述第一放置平台上。所述出料平台包括货叉和第二放置平台,所述第二放置平台滑动定位在能够伸缩运动的...该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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一种应用于晶圆盒自动封装设备中的进出料装置,包括进料平台和出料平台。所述进料平台包括第一放置平台以及限位机构,所述限位机构能够将所述晶圆盒定位于所述第一放置平台上。所述出料平台包括货叉和第二放置平台,所述第二放置平台滑动定位在能够伸缩运动的...