温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种封闭膜结构的微机械热电堆红外探测器，复合介质膜上有热堆结构（４）和红外吸收区（５），其中热堆的热结区（３）位于红外吸收区（５）附近，冷结区（２）在硅基体上，其特征在于在硅基体（１）上，由各异性腐蚀剂腐蚀后，留下侧壁为（１１１）慢腐蚀面的...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种封闭膜结构的微机械热电堆红外探测器，复合介质膜上有热堆结构（４）和红外吸收区（５），其中热堆的热结区（３）位于红外吸收区（５）附近，冷结区（２）在硅基体上，其特征在于在硅基体（１）上，由各异性腐蚀剂腐蚀后，留下侧壁为（１１１）慢腐蚀面的...