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本申请提供一种掩模版修复设备，掩模版修复设备包括研磨机构，在研磨机构中，导向头的第一端部与所述第二驱动组件连接，第二端部抵接研磨带，第二驱动组件用于驱动导向头摆动以调整研磨带的研磨角度。本申请通过将研磨机构的导向头设置为可摆动的方式，提高了...
该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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