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氧化物粉末制造装置制造方法及图纸
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文档序号:25506784
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本发明提供一种氧化物粉末制造装置,本发明的实施例的氧化物粉末制造装置,其包括:包括:蒸发腔室,作为用于加热固体状态的反应物质以进行蒸发的反应单元,所述反应物质容置于所述蒸发腔室;氧化反应腔室,配置于所述蒸发腔室上侧,用于对从所述蒸发腔室移动...
该专利属于德邦新材料股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过德邦新材料股份公司授权不得商用。
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