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提供一种超细气泡生成装置和超细气泡生成方法，其能够有效地生成高纯度的UFB。为此，通过在晶片形式的元件基板上设置壁、盖基板和电极盘来形成腔室。...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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