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本实用新型公开了一种软X射线光源装置，包括用于控制激光的延时控制器及激光器，真空放电室、探测系统和高压直流电源。所述探测系统包括增强CCD和极紫外光谱仪，所述真空放电室位于所述激光器旁的一侧安装高透镜，所述延时控制器连接激光器，所述高透镜在...
该专利属于东北林业大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北林业大学授权不得商用。

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