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本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，涉及半导体制备设备技术领域，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空...
该专利属于天津华慧芯科技集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津华慧芯科技集团有限公司授权不得商用。

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