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基于四象限探测器的哈特曼波前传感器的自适应标定装置制造方法及图纸
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下载基于四象限探测器的哈特曼波前传感器的自适应标定装置的技术资料
文档序号:2549086
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基于四象限探测器的哈特曼波前传感器的自适应标定装置,包括分光镜、标定变形镜、微透镜阵列、匹配透镜、四象限探测器阵列、波前处理机和波前控制器,其特征在于:首先利用标定变形镜改变四象限探测器光敏面处光斑的位置,让光斑质心与四象限探测器的中心重合...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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