下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:25484203

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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供鳍部和位于所述鳍部上的沟道叠层,沟道叠层包括牺牲层和位于牺牲层上的沟道层,靠近鳍部一侧的部分沟道层作为第一沟道层,位于第一沟道层上的剩余沟道层作为第二沟道层;形成多个横跨沟道叠层的伪栅结构;在伪...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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