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本发明提供了一种鳍型半导体器件及其制造方法。制造方法包括：提供衬底；对衬底进行第一次刻蚀，以形成凸起于衬底的鳍型沟道；在鳍型沟道的两侧和顶部形成氧化物材质的保护层；对衬底进行第二次刻蚀，使凸起于衬底的鳍型沟道向下延伸，以构成未被保护层遮挡的...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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