温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种刀片式晶圆切割机,涉及晶圆切割机领域,旨在解决切割机采用激光切割使晶圆所受热量较多,晶圆温度较高,晶圆易变形或损坏,加工成品率低的问题,其技术方案要点是包括机体,机体一侧设有放置区,放置区一侧设有传动装置,传动装置远离放...该专利属于苏州新米特电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州新米特电子科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种刀片式晶圆切割机,涉及晶圆切割机领域,旨在解决切割机采用激光切割使晶圆所受热量较多,晶圆温度较高,晶圆易变形或损坏,加工成品率低的问题,其技术方案要点是包括机体,机体一侧设有放置区,放置区一侧设有传动装置,传动装置远离放...