温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种检查装置及检查方法。根据一实施方式，本实施方式的检查装置具备可搭载表面具有突出部的衬底的载台。环构件在载台上挤压衬底的外周。液体供给部向衬底的表面上供给液体直到距该表面为第1高度为止。拍摄部从衬底的表面的上方拍摄液体的表面及突...
该专利属于东芝存储器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。