温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种硅片清洁设备，包括行走臂及安装在所述行走臂侧边的清洁装置，所述清洁装置包括固定装置、安装在所述固定装置上的风刀装置、硅片支撑装置、安装在所述硅片支撑装置上的感应装置及与感应装置电信或信号连接的控制装置，所述控制装置控制所述...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。