下载金属卷材真空镀膜设备的技术资料

文档序号:25450768

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本实用新型公开了一种金属卷材真空镀膜设备,包括加热真空腔体、多弧离子沉膜腔体、放卷装置、收卷装置、加热装置、多弧离子靶、抽真空装置和控制系统,金属卷材一端从放卷装置上引出顺序经过加热真空腔体和多弧离子沉膜腔体并最终缠绕于收卷装置上收卷,加热...
该专利属于昆山浦元真空技术工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山浦元真空技术工程有限公司授权不得商用。

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