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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉及其进气喷嘴，具有直筒型喷腔，还具有螺旋型喷腔，一部分气体通过直筒型喷腔沿着直线轨迹喷入到炉筒内，一部分气体通过螺旋型喷腔沿着螺旋轨迹喷入到炉筒内。从直筒型喷腔中喷出的气体直线进入到炉筒的上部。从螺旋型喷腔中...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。

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