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一种半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:25444340
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本发明提出一种半导体结构的制造方法,包括:提供一衬底,所述衬底包括第一区域和第二区域;形成第一多晶硅层于所述衬底上,所述第一多晶硅层覆盖所述第一区域和所述第二区域;形成层叠结构于所述第一多晶硅层上;形成保护层于所述层叠结构上;形成图案化的光...
该专利属于合肥晶合集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路有限公司授权不得商用。
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