下载高通流能力的单向ESD保护器件及其制作方法的技术资料

文档序号:25444324

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本发明公开一种高通流能力的单向ESD保护器件及其制作方法,包括N型衬底材料,N型衬底材料正面外延有N型外延层,N型外延层内设有带高低不同的深浅PN结的P型扩散区,N型外延层上淀积隔离介质层,隔离介质层和P型扩散区外正面溅射或蒸发正面金属区,...
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