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本发明属于激光整形技术领域,提供了一种光纤芯片及其制作方法,光纤芯片包括{100}晶族基板,{100}晶族基板上开设有V形槽,V形槽内设有至少一根光纤条;{100}晶族基板为(100)硅片,V形槽沿硅片<110>晶向开设,V形槽...该专利属于山东元旭光电股份有限公司;合肥元旭创芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东元旭光电股份有限公司;合肥元旭创芯半导体科技有限公司授权不得商用。