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一种氮化镓单晶生长装置及生长方法制造方法及图纸
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文档序号:25431325
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本申请公开了一种氮化镓单晶生长装置及生长方法,以实现氨热法生长高质量、大尺寸氮化镓单晶。氮化镓单晶生长装置包括生长容器、设置在生长容器外的机架及生长容器内的加热装置。生长容器筒体由内筒体和缠绕在内筒体外壁的扁钢丝或扁钢带组成;机架用于支撑生...
该专利属于乔焜;张新建所有,仅供学习研究参考,未经过乔焜;张新建授权不得商用。
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