下载一种提高金属制膜均匀性的平面磁板的制作方法的技术资料

文档序号:25431207

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本发明涉及一种提高金属制膜均匀性的平面磁板的制作方法,包括:在基板表面沉积金属膜;测量所述金属膜的均匀性分布;根据所述均匀性分布制作平面磁板。本发明提出的方法,通过预先安装矩形磁板来计算机台制得金属膜的均匀性分布,再通过制作与金属膜均匀性分...
该专利属于咸阳彩虹光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过咸阳彩虹光电科技有限公司授权不得商用。

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