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本实用新型公开了一种芯片检测设备的多轴芯片承载组件,包括承载组件底板及设置在承载组件底板上的承载X轴模组,所述承载X轴模组的输出端设置有可沿X轴方向移动的承载Y轴模组,所述承载Y轴模组的输出端设置有可沿Y轴方向移动的旋转承载盘模组,需要检测...该专利属于深圳市泰克光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市泰克光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种芯片检测设备的多轴芯片承载组件,包括承载组件底板及设置在承载组件底板上的承载X轴模组,所述承载X轴模组的输出端设置有可沿X轴方向移动的承载Y轴模组,所述承载Y轴模组的输出端设置有可沿Y轴方向移动的旋转承载盘模组,需要检测...