温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种半导体存储装置及检查方法。本发明的实施方式的半导体存储装置具备：积层体，隔着绝缘层而积层多个导电层，且具有多个导电层的端部成阶梯状的阶梯部；多个柱，在积层体内沿着积层体的积层方向延伸，且在与多个导电层的至少一部分的交叉部形成多...
该专利属于东芝存储器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。