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本申请公开一种翻转晶圆的装置，包括机架，机架上设有水平转轴和升降机构，水平转轴的一端连接动力部件，水平转轴通过连接件与升降机构相连，升降机构带动水平转轴在竖直方向上上下移动，水平转轴上安装有用于吸附晶圆的吸盘，吸盘通过气管连接真空发生器。根...
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