温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于微机电系统领域，涉及微流量测量的传感器。包括：入口１、上盖２、微腔体一３、主体４、导线一５、支架６、信号处理模块７、导线二８、微腔体二９、微管道１０、出口１１。用柔性平板波提高灵敏度；用薄膜内应力测量动态范围大，提高动态范围；...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。