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本发明提供了一种等离子化学气相沉积设备，由于下部电极上存在磨损速度不同的多个电极区域，通过将下部电极的绝缘层也划分为多个绝缘区域，该多个绝缘区域与磨损速度不同的多个电极区域对应且多个绝缘区域的绝缘特性不同，即根据多个电极区域的磨损速度设置对...
该专利属于云谷(固安)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云谷(固安)科技有限公司授权不得商用。

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