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本发明提供了一种纳米多层膜及其制备方法。所述纳米多层膜，从基材表面上依次设有金属过渡层、金属碳化物过渡层、金属碳氮化物过渡层和功能层。其特别适用于高温、高压、高含腐条件下的钻头、井下动力钻具、防喷器等工具，使工具寿命将大大延长。也适用于井下...该专利属于中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院授权不得商用。