温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种用于在晶圆表面压膜的压膜装置包括第一压辊；第二压辊，平行设置在第一压辊的下方，且第一压辊与第二压辊之间形成有可供第一传送带和第二传送带同时穿过的夹缝；第一压辊和第二压辊分别通过对应的驱动机构驱动下转动；第一传送带用于传送连...
该专利属于宁波得力微机电芯片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波得力微机电芯片技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。