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一种硅片自动上粉的装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:25348546
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本发明提供了一种硅片自动上粉的装置和方法。该装置包括:传输设备、刮粉板、上粉设备;其中,上粉设备用于将玻璃糊涂覆在硅片上,上粉设备包括超声设备和储罐,储罐用于盛装玻璃糊,超声设备用于超声处理储罐内的材料;传输设备用于传送硅片,用于将硅片送入...
该专利属于捷捷半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过捷捷半导体有限公司授权不得商用。
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