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本申请公开了一种封装基板制作方法,该方法包括步骤:提供承载板,在承载板上制作第一线路层;在第一线路层上表面制作空腔图案,沉积并刻蚀金属形成金属腔体,在金属腔体表面压合介质层并减薄,露出金属腔体上表面;去除承载板,刻蚀掉金属腔体露出空腔,在空...该专利属于珠海越亚半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海越亚半导体股份有限公司授权不得商用。
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