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本发明公开了一种氦检方法及其系统，其方法包括如下步骤：步骤S1，人工将工件放在上料滑台上；步骤S2，上料机械手自动将工件抓取到真空箱内，然后真空箱平移后箱体合门；步骤S3，对工件充入压缩空气做耐压测试；步骤S4，耐压测试结束后对工件放气，系...该专利属于上海真兰仪表科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海真兰仪表科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种氦检方法及其系统，其方法包括如下步骤：步骤S1，人工将工件放在上料滑台上；步骤S2，上料机械手自动将工件抓取到真空箱内，然后真空箱平移后箱体合门；步骤S3，对工件充入压缩空气做耐压测试；步骤S4，耐压测试结束后对工件放气，系...