一种氦检方法及其系统技术方案

本发明专利技术公开了一种氦检方法及其系统，其方法包括如下步骤：步骤S1，人工将工件放在上料滑台上；步骤S2，上料机械手自动将工件抓取到真空箱内，然后真空箱平移后箱体合门；步骤S3，对工件充入压缩空气做耐压测试；步骤S4，耐压测试结束后对工件放气，系统自动进入氦检流程，首先抽真空系统自动对真空箱、工件进行抽真空，其系统包括用于放置待检工件的真空箱、氦质谱检漏仪、真空箱抽真空系统、工件抽真空系统、氦气充入系统，PLC控制器、上料机械手、氦气回收系统、气压检测装置或者氦气浓度监测装置、真空度检测装置、工件破空系统和真空箱破空系统。本发明专利技术，检测效率高，不会受到检测视野的干扰，误检漏检的可能性大大降低。

【技术实现步骤摘要】
一种氦检方法及其系统
本专利技术涉及真空度检测
，具体为一种氦检方法及其系统。
技术介绍
目前燃气表多为膜式燃气表，对于燃气表检漏一般采用干式比较法和水试法两种方式，干式比较法是将干空气充入燃气表内，待压力平衡后，测量表内高压气体的压力变化来判断其密封性，由于压力在短时间内无法达到平衡，其检测效率偏低。水试法将燃气表充以一定压力的空气然后浸泡在水中，通过观察水中是否有气泡来判断燃气表是否有泄漏情况存在。然而，水试法存在误检漏检可能、检测视野受限、检测效率低的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种氦检方法及其系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种氦检方法，包括如下步骤：步骤S1，人工将工件放在上料滑台上；步骤S2，上料机械手自动将工件抓取到真空箱内，然后真空箱平移后箱体合门；步骤S3，对工件充入压缩空气做耐压测试；步骤S4，耐压测试结束后对工件放气，系统自动进入氦检流程，首先抽真空系统自动对真空箱、工件进行抽真空；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氦检方法，其特征在于包括如下步骤：/n步骤S1，人工将工件放在上料滑台上；/n步骤S2，上料机械手自动将工件抓取到真空箱内，然后真空箱平移后箱体合门；/n步骤S3，对工件充入压缩空气做耐压测试；/n步骤S4，耐压测试结束后对工件放气，系统自动进入氦检流程，首先抽真空系统自动对真空箱、工件进行抽真空；/n步骤S5，真空箱达到设定真空度，检漏阀打开,充氦气装置向工件内持续充10KPa氦气，需要5个回转体积的氦气，氦质谱检漏仪自动启动并进行中漏检测，检测合格后则继续步骤S6，检测不合格则报警装置报警，氦气回收系统自动回收氦气，真空箱充气开门，取出有漏工件NG缓存线上；/n步骤S6，继续向工件...

【技术特征摘要】
1.一种氦检方法，其特征在于包括如下步骤：
步骤S1，人工将工件放在上料滑台上；
步骤S2，上料机械手自动将工件抓取到真空箱内，然后真空箱平移后箱体合门；
步骤S3，对工件充入压缩空气做耐压测试；
步骤S4，耐压测试结束后对工件放气，系统自动进入氦检流程，首先抽真空系统自动对真空箱、工件进行抽真空；
步骤S5，真空箱达到设定真空度，检漏阀打开,充氦气装置向工件内持续充10KPa氦气，需要5个回转体积的氦气，氦质谱检漏仪自动启动并进行中漏检测，检测合格后则继续步骤S6，检测不合格则报警装置报警，氦气回收系统自动回收氦气，真空箱充气开门，取出有漏工件NG缓存线上；
步骤S6，继续向工件内充入75KPa氦气，氦质谱检漏仪进行微漏检测，当微漏检测合格则继续步骤S7，如果微漏检测不合格，则报警装置报警，氦气回收系统自动回收氦气，真空箱充气开门，取出有漏工件NG缓存线上；
步骤S7，氦气回收系统自动回收氦气并清洗，真空箱充气开门，取出合格工件放到合格线体上，进入下个工序。


2.根据权利要求1所述的一种氦检方法，其特征在于：所述耐压测试的条件为充入175KPa压缩空气并保压1min。


3.根据权利要求1所述的一种氦检方法，其特征在于：所述氦质谱检漏仪自动启动的条件为真空箱压力抽到30Pa时，工件压力达到1000Pa时。


4.一种氦检系统，其特征在于包括用于放置待检工件的真空箱、氦质谱检漏仪、真空箱抽真空系统、工件抽真空系统、氦气充入系统，PLC控制器、上料机械手、氦气回收系统、气压检测装置或者氦气浓度监...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟涛，李诗华，任海军，徐荣华，
申请(专利权)人：上海真兰仪表科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31