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一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法技术
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文档序号:25344368
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本发明公开了一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法,包括柔性基底一、微电机、柔性基底二、下层石墨薄膜、上层石墨薄膜、弹性绝缘微柱结构以及胶带。其中,制作方法如下:一、取下层石墨薄膜进行石墨薄膜表面弹性绝缘微柱结构工艺附着制备弹性绝缘微柱...
该专利属于温州大学苍南研究院所有,仅供学习研究参考,未经过温州大学苍南研究院授权不得商用。
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