一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法，包括柔性基底一、微电机、柔性基底二、下层石墨薄膜、上层石墨薄膜、弹性绝缘微柱结构以及胶带。其中，制作方法如下：一、取下层石墨薄膜进行石墨薄膜表面弹性绝缘微柱结构工艺附着制备弹性绝缘微柱结构；二、利用石墨及弹性绝缘微柱结构转移方法对石墨以及弹性绝缘微柱结构转移至柔性基底一上；同时利用石墨及弹性绝缘微柱结构转移方法对柔性基底二表面的上层石墨薄膜进行转移；三、利用涂覆、蒸镀方法对柔性基底一两端制作微电极；四、将带有上层石墨薄膜的柔性基底二利用胶带组合粘贴在柔性基底一上。本发明专利技术具有以下有益效果：具有易于批量化、高灵敏、低成本的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法
本专利技术涉及一种压力传感器及其制作方法，特别涉及一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法。
技术介绍
人体内外普遍存在各种压力信息，主要包括眼压、声压、椎间盘压、冠状动脉血压、泌尿系统膀胱压力、脉搏跳动、心跳、呼吸等，而且这些压力信息是反应人体健康状态的重要指标。例如眼压信号就是青光眼患者的主要监测指标，大量临床数据表明，大部分青光眼患者在一天内会有较大的眼压波动，约有52%-69%的青光眼患者的眼压峰值并不处在医院白天的上班时间，当患者眼球附近的压力持续或间断升高时，不能及时地监测眼压信号，会造成眼压超过眼球耐受的程度，从而将损害视神经，严重的将造成患者失明。根据2016年3月的中国新闻网报道：目前我国青光眼的患病率为2.6%，致盲率为30%。因此实时监测人体压力信号是对人体疾病的诊治十分重要。目前医院常用检查眼压、血压、声压、泌尿系统膀胱压力等仪器尺寸较大，难以实现压力信号的实时监测。此外压力信号主要为超低压（＜1Pa）、微低压（1Pa～1kPa）以及低压（1～10kPa）的微小压力。因此，人本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征是：包括柔性基底一(1)，所述柔性基底一(1)上设置有两个微电极(2)，两个所述微电极(2)之间设置有下层石墨薄膜(3)，所述下层石墨薄膜(3)上设置有多个弹性绝缘微柱结构(4)，所述弹性绝缘微柱结构(4)顶部设置有上层石墨薄膜(6)，所述上层石墨薄膜(6)外设置有柔性基底二(7)，所述柔性基底二(7)外设置有用于将柔性基底二(7)以及上层石墨薄膜(6)安装固定在柔性基底一(1)上的胶带(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征是：包括柔性基底一(1)，所述柔性基底一(1)上设置有两个微电极(2)，两个所述微电极(2)之间设置有下层石墨薄膜(3)，所述下层石墨薄膜(3)上设置有多个弹性绝缘微柱结构(4)，所述弹性绝缘微柱结构(4)顶部设置有上层石墨薄膜(6)，所述上层石墨薄膜(6)外设置有柔性基底二(7)，所述柔性基底二(7)外设置有用于将柔性基底二(7)以及上层石墨薄膜(6)安装固定在柔性基底一(1)上的胶带(8)。


2.根据权利要求1所述的一种石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征是：所述弹性绝缘微柱结构(4)均匀分布排列在下层石墨薄膜(3)上且两两弹性绝缘微柱结构(4)之间设置有相应的空隙(5)。


3.根据权利要求1所述的一种石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征是：所述柔性基底一(1)与柔性基底二(7)为PI材料制成。


4.根据权利要求1所述的一种石墨基压阻式柔性压力传感器，其特征是：所述弹性绝缘微柱结构(4)为光刻胶制成。


5.一种石墨基压阻式柔性压力传感器的制作方法，其特征是：包括如下步骤：
包括如下步骤：
步骤一：取下层石墨薄膜(3)进行石墨薄膜表面弹性绝缘微柱结构(4)工艺附着制备弹性绝缘微柱结构(4)；
步骤二：利用石墨及弹性绝缘微柱结构(4)转移方法对石墨以及弹性绝缘微柱结构(4)转移至柔性基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：章城，张淼，
申请(专利权)人：温州大学苍南研究院，
类型：发明
国别省市：浙江;33