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本发明公开了一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统，其特征在于，MEMS惯性传感器包括密封盖，质量块，弹性粱，可动电极，固定电极和衬底，该MEMS惯性传感器通过光刻、电铸、溅射、键合等工艺完成制造，包含MEMS惯性传感器的控制系统还包...
该专利属于无锡市伍豪机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市伍豪机械设备有限公司授权不得商用。

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