一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统，其特征在于，MEMS惯性传感器包括密封盖，质量块，弹性粱，可动电极，固定电极和衬底，该MEMS惯性传感器通过光刻、电铸、溅射、键合等工艺完成制造，包含MEMS惯性传感器的控制系统还包括差分电容检测器，调制解调器和低通滤波器。本发明专利技术制造的MEMS惯性传感器具有低误差，高精准度，运行稳定的特点，包含MEMS惯性传感器的控制系统具有较高的信噪比和线性性能。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统
本专利技术属于微机电系统(MEMS)领域，尤其涉及一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统。
技术介绍
MEMS器件具有体积小、成本低、性能可靠等优点，在汽车、医疗和军事等领域有着广泛的应用前景。现有技术中MEMS器件的制造存在很多问题，比如加工工艺的稳定性不足，生产出的MEMS器件结构和性能与预期值有较大的偏差，降低了MEMS器件的性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术中的不足，提供一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统，使制造的MEMS惯性传感器具有较低的误差，测得的数据有较高的精准度，并且运行稳定。为了达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种MEMS惯性传感器，其包括：密封盖，质量块，弹性粱，可动电极，固定电极，衬底；其中所述密封盖与所述衬底键合，构成传感器的密封结构，容纳传感器其他部件，至少两个弹性粱的一端通过固定端与所述衬底固定连接，所述至少两个弹性粱平行于所述衬底设置，其另一端固定于所述质量块，所述质量块的下部设置有所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS惯性传感器，其特征在于，包括：密封盖，质量块，弹性粱，可动电极，固定电极，衬底；其中所述密封盖与所述衬底键合，构成传感器的密封结构，容纳传感器其他部件，至少两个弹性粱的一端通过固定端与所述衬底固定连接，所述至少两个弹性粱平行于所述衬底设置，其另一端固定于所述质量块，所述质量块的下部设置有所述可动电极，所述衬底上与所述可动电极相对设置有至少两个所述固定电极，所述密封盖内部充有惰性气体。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS惯性传感器，其特征在于，包括：密封盖，质量块，弹性粱，可动电极，固定电极，衬底；其中所述密封盖与所述衬底键合，构成传感器的密封结构，容纳传感器其他部件，至少两个弹性粱的一端通过固定端与所述衬底固定连接，所述至少两个弹性粱平行于所述衬底设置，其另一端固定于所述质量块，所述质量块的下部设置有所述可动电极，所述衬底上与所述可动电极相对设置有至少两个所述固定电极，所述密封盖内部充有惰性气体。


2.一种根据权利要求1所述的MEMS惯性传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)对基片进行研磨、抛光，并使用溶液进行超声波清洗；
(2)对基片进行增沾处理；
(3)旋涂光刻胶；
(4)对光刻胶进行前烘，使胶膜干燥；
(5)对光刻胶进行曝光处理；
(6)后烘和超声处理；
(7)使用显影液进行显影；
(8)对基片进行坚膜处理；
(9)电铸第一层金属镍，并对电铸层进行研磨处理；
(10)溅射铜种子层；
(11)重复步骤(3)至(9)，形成多层结构；
(12)使用有机溶液去除光刻胶，释放结构；
(13)键合密封盖与基片，完成MEMS惯性传感器。


3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，步骤(1)中首先用浓硫酸和过氧化氢溶液浸泡并超声波清洗，...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞经纬，
申请(专利权)人：无锡市伍豪机械设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32