下载一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统的技术资料

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本实用新型属于光刻技术领域,具体公开了一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统。其中刀口结构由金属制成,且所述刀口结构包括一体成型的刀片和刀架,所述刀片的一侧设置有刃口,所述刀架围设在所述刀的其余侧。可动狭缝装置包括上述的刀口结构,光刻系统包括...
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